UVL400是一款自動Frame上料，解膠，下料的UV解膠設備，該設備兼容8”和12”帶Frame的wafer，且無需治具更換。

機臺主要結構：

面光源LED UV照射燈

獨立LED燈供電系統

Cassette自動上下料機構

壓蓋密封充氮氣機構

自動蓋章機構

技術優勢：

LED面光源照射，照射均勻性在5%以內

具有充氮氣功能，解膠效果更好

大功率照射，平均7秒左右即可達到300mJ/cm²照射能量

全進口LED燈珠，燈珠設計壽命2萬小時以上，功率均衡穩定，超長壽命（LED燈保修兩年）