UPC-2000L CO2發泡機
CO2發泡機適用于半導體晶圓切割工序，它是通過滲入CO2，使水的電阻率降價（達到0.2MΩ.cm）.從而消除水中的靜電,達到保護wafer的作用。
產品優勢:
1、精準的電阻率控制能力,可將電阻率控制在±0.1MΩ.cm.
2、增加了電阻率自動調節系統.
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